Controlul grosimii straturilor subtiri - studopediya

Determinarea grosimii acoperirii prezintă dificultăți tehnice serioase, în primul rând datorită faptului că termenul „grosimea“ aplicat straturi subțiri pierde suprafețe de relief forță de securitate dezvoltate.

Prin „adevărat“ film gros este de a fi înțeles de valoare

unde d (y z.) - înălțimea limita exterioară a limitelor de metal,

S - strat de suprafață.

Există mai multe metode pentru măsurarea grosimii straturilor subtiri conductoare: metoda de interferometru optice, metode electrice, gravimetrice, metode cu acul indicator, etc.

Metode electrice includ măsurarea rezistivitatea electrică a bi- filmului R sau metoda cu patru sonde și calcularea grosimii formulele corespunzătoare cu specific r rezistență. Pentru metoda cu două sonde

unde l - lungimea filmului (distanța între piste);

și - lățimea pistei de film.

Metodele gravimetrice se bazează pe cântarul substratului înainte și după aplicarea filmului. Grosimea medie a filmului este dată în formula angstromi

unde # 8710; P - diferența de greutate, ug;

S - suprafața eșantionului, cm2;

r - densitatea film, g # 8729; cm -3.

Metode electrice și gravimetrice sunt simple, cu toate acestea, necesită cunoștințe în primul caz rezistivitatea în a doua - densitatea de film.

Dispozitiv de 4-MDI permite măsurarea înălțimii neregularităților variind de la 1 la 0,03 microni.

La instalarea instrumentului plat imagine eșantion reflectorizant format la franjurilor sale (fig. 2.53)

Fig. 2.53. Suprafața plană a imaginii interferență (a);
b - o etapă a filmului (1) - substratul (2)

Dacă pas pentru a forma substratul de film pe un substrat, modelul de interferență este modificat (fig. 2.53, b).

Conform acestei imagini, folosind o grosime de film micrometric pentru ocular poate fi determinată

Ordinea de performanță:

1. Previzualizarea dispozitiv MII 4-locul de muncă, folosind descrierea acestuia.
2. Se măsoară grosimea probelor de film oferite prin MII-4.
3. Utilizarea ohmmetrul pentru a măsura rezistența acestor probe pentru a determina # 961; .
4. Rezultate pp 3.4 aduce la masă și trage un grafic # 961; = F (d)
5. Puneți probele într-un termostat și temperatura și măsurarea rezistenței reprezentate grafic # 961; = F (T) și ln # 963; = F ()
6. Se determină mostrele TCS și reprezentate grafic TCS = f (d)
7. Rezultatele ratei de eroare.

1. Filme subțiri sunt utilizate în cazul în care?
2. Filmul diferă de probele vrac? De ce?
3. Ceea ce a cauzat dependența # 961; = F (d)?
4. Care prelucrează datorită dependenței R = f (T)?
5. Pentru a explica dependența TCR = f (d).
6. Care este defectele dimensionale clasice?
7. Care este cuantumul defecte de dimensiune?

Referințe: [6] - 2.1; 10.