Sonda microscop cu scanare Primul
Ideea de imagistica ultra-înaltă rezoluție a suprafeței probei cu o sondă ascuțită a fost propusă în 1966 și implementat în 1972 de către Russell Young, care a studiat suprafata fizica.

Deși rezoluția spațială a dispozitivului Yang în planul eșantionului nu este mai mare decât microscopul optic convențional, instalarea a avut toate trăsăturile caracteristice ale SPM și lăsate să se distingă straturi atomice pe eșantion.

Câțiva ani mai târziu, la sfârșitul anilor '70, fizicienii Binning si Rohrer la IBM Research Laboratory din Zurich, a început dezvoltarea plantei, care mai târziu a devenit primul microscop de scanare de tunel. Cu o vastă experiență în microscopie electronică, și explorarea efectul de tunel, au ajuns la ideea de a stabili creaturi, similare Topografiner'om Young.
Dar, în loc de curentul de emisie, au folosit efectul de tunel curent, ceea ce a permis să crească rezoluția dispozitivului de ordine de mărime. o multitudine de imagini au fost obținute cu rezoluție atomică, o îmbunătățire suplimentară a dispozitivului a condus la crearea multor altor tipuri de SPM. În 1986, pentru crearea unui microscop de scanare de tunel, Binning si Rohrer au primit Premiul Nobel pentru fizică. Istoria primului STM poate învăța de la Nobel vorbire Binning


De la mijlocul anilor '80 există o creștere explozivă a numărului de publicații referitoare la microscop sonda. A existat o mulțime de soiuri de SPM, o serie de dispozitive disponibile comercial din microscopie manuale sondă, elementele de bază ale SPM sunt studiate în cadrul mai multor instituții de învățământ superior.